?臺積電18廠用再生水陳美伶：符合先進(jìn)制程所需

臺積電南科先進(jìn)制程新廠，首度將再生水運(yùn)用工業(yè)生產(chǎn)引發(fā)疑慮，國發(fā)會主委陳美伶表示，已借由督導(dǎo)平臺關(guān)注，為配合產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)需求，再生水標(biāo)準(zhǔn)符合南科相關(guān)先進(jìn)制程所需。

陳美伶同時強(qiáng)調(diào)，一旦有異常情況會啟動緊急供水措施，對于制程及良率將有更高保障。

臺積電晶圓18廠落腳南科，政府承諾會穩(wěn)定供應(yīng)水電，提出運(yùn)用再生水方案，由于目前半導(dǎo)體晶圓生產(chǎn)都是用純水，臺積電晶圓18廠使用再生水，市場關(guān)注是否會影響晶圓廠的生產(chǎn)品質(zhì)與良率。

國家發(fā)展委員會主委陳美伶接受中央社記者訪問時表示，各項產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)用水需配合產(chǎn)業(yè)生產(chǎn)需求，對于南科先進(jìn)制程用水需求及標(biāo)準(zhǔn)，討論使用再生水時即與用水端商議過供水品質(zhì)及標(biāo)準(zhǔn)，以兩段式RO（逆滲透）作為供水規(guī)劃，相關(guān)水質(zhì)應(yīng)可符合南科相關(guān)先進(jìn)制程所需。

陳美伶解釋，去年就已成立的“南科先進(jìn)制程環(huán)境建置案進(jìn)度督導(dǎo)平臺”，是針對整個臺南科學(xué)園區(qū)的先進(jìn)制程成立，跨中央相關(guān)部會及臺南市政府，主要是解決影響產(chǎn)業(yè)經(jīng)營的關(guān)鍵問題。

陳美伶說，為協(xié)助業(yè)者排除投資障礙，行政院長賴清德主持多次加速投資臺灣專案會議，就是為解決目前產(chǎn)業(yè)遇到的問題，除了南科先進(jìn)制程，目前也針對中科園區(qū)議題解決處理中。

此外，南科管理局副局長蘇振綱受訪時指出，南科先進(jìn)制程不只臺積電部分，也有許多廠商需要使用到再生水，在會議中也針對這項議題協(xié)調(diào)處理，確保廠商使用需求。

蘇振綱說，針對廠商遇到的產(chǎn)業(yè)需求，從去年下半年就陸續(xù)召開會議并追蹤進(jìn)度，因為先進(jìn)制程廠商都是臺灣重大投資，除搜集廠商需求細(xì)節(jié)，也需要掌握進(jìn)度，與中央部會與地方政府間進(jìn)行協(xié)調(diào)。

臺積電5納米新廠晶圓18廠，是全球第一家進(jìn)入5納米制程的晶圓廠，資本投資新臺幣5000億元，計劃在2020年投入生產(chǎn)。

臺積電3納米、5納米廠先后確定落腳南部科學(xué)工業(yè)園區(qū)，面對水、電需求，臺南市政府先在去年4月啟用曾文凈水場，每天增加2萬噸供水，也將永康污水處理廠升級再生水廠，預(yù)計2020年，每天可供應(yīng)1.5萬噸工業(yè)用水。